從武周到開元之末是府兵制加速崩潰的時期。均田制加速破壞，農民受田日見減少，貧苦農民逐漸無力承擔自備戎具、資糧的兵役，這是造成府兵制瓦解的根本原因。番上宿衛的衛士原系執行侍衛皇帝的任務，被尊稱為「侍官」，後來被官吏任意驅使，甚至執僮仆之役，身份大為降低，京師人甚至以「待官」為辱罵時的用語。高宗時因為軍鎮增加，僅府兵不足成邊，開始強使征行的一部份兵募也充當鎮兵。戍邊的府兵和兵募本來規定三年輪換，開元時延長至五、六年更代，有的甚至長征不歸，並且他們均遭受邊將的種種虐待和迫害。富人子弟由於勛田逐漸不能兌現，不再願意被揀點為府兵或充兵募，大多數想方設法逃避兵役，故兵役幾乎全部落在貧苦農民身上。均田制的破壞引起了舊兵制的崩潰，舊兵制的崩潰又反轉過來加速了農民的破產和逃亡，唐朝統治者在這種惡性迴圈中陷於兵源枯竭，面臨折沖府「宿衛不給」的嚴重局面。在這種情況下，兵制的徹底改革終於被提到日程上來了。
唐玄宗於開元十一年（723年）采納兵部尚書張說的建議，下令實行募士宿衛的新辦法。招募來的職業兵稱長從宿衛，不久，改稱「弓廣」（音郭）騎」，分隸於十二衛，分六番宿衛。
這種僱用兵，官給資糧，皆免征鎮賦役。開元二十五年改革征防軍，在諸色征行人及客戶中招募情願充健兒長住邊鎮者為兵，家口自隨，官給田地屋宅，稱長征健兒。征兵制已改為募兵制，唐玄宗於是在天寶八載（749年）宣布停折沖府上下魚書，府兵制至此終告廢除
