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江豐電子申請一種PECVD加熱盤加熱絲的矯正方法專利,能有效矯正加熱絲的位置,使得加熱絲的居中度達到0.3mm以內

2024-06-22健康

金融界2024年6月21日訊息,天眼查知識產權資訊顯示,寧波江豐電子材料股份有限公司申請一項名為「一種PECVD加熱盤加熱絲的矯正方法「,公開號CN202410329289.5,申請日期為2024年3月。

專利摘要顯示,本發明提供一種PECVD加熱盤加熱絲的矯正方法。所述矯正方法包括如下步驟:(1)預處理矯正模組;(2)采用固定裝置固定PECVD加熱盤加熱絲端頭,而後將步驟(1)所得矯正模組安裝於支撐筒筒口與加熱絲之間,完成對加熱絲的矯正;所述矯正模組包括鋼管;所述鋼管的厚度為支撐筒筒口與加熱絲的最大間距;所述鋼管外徑至多比支撐筒筒口直徑小0.1mm。本發明提供的矯正方法能有效矯正加熱絲的位置,使得加熱絲的居中度達到0.3mm以內,進而有效解決因加熱絲傾斜導致產品無法安裝問題。